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臭氧发生器采用氧气源是臭氧技术的一个重大进步。和采用空气源相比，氧气气源使臭氧发生器臭氧功能发生巨大变化。
氧气源 使臭氧出口浓度提高 8-10 倍。 空气源臭氧发生管出口浓度高为 9-11mg/L，养殖厂臭氧化法污水处理， 低小于1mg/L 。而采用氧气，出口浓度可达 80-130mg/L 。
氧气源 使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。高浓度氧气产生高浓度臭氧。从而使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。有些细菌病毒用空气源臭氧很难，采用氧气源臭氧就很容易。有些化合物只有采用氧气源臭氧才能氧化
空调系统臭氧应用量的计算方法
设： V1 为洁净去空间体积， V2 为 HVAC 系统空间体积， V3 为保持洁净区正压所补充的新风对臭氧造成的损失
则灭菌空间的总体积（ V ）计算为： V=V1+V2+V3
V3 的确定：根据实践，归纳出较为可靠的经验公式如下： V3 ≈ HVAC 系统循环总风量 m3/h*25%（常规新风更换率）× 10-20% （保持洁净区正压补充的新风量）× 39% （应用臭氧时臭氧半衰期的预算值），即 V3=HVAC系统循环总风量× 1~2%
臭氧专用制氧机：是臭氧发生器氧气源第三代产品。青岛中通臭氧公司是国内推出臭氧专用制氧机厂家。采用分子筛技术，利用空气作为原料，通过分子塔生成高浓度氧气．氧气浓度在 90%以上。采用防腐蚀材料，气源深冷，多级除湿装置。整个设备耐腐蚀，耐潮湿，温升低。山美水美 CFY 系列制氧机产量通常有每分钟5L-50L 。
分体式制氧系统：用于大型臭氧发生器配套气源。采用独立压缩机，焦作臭氧化法污水处理，冷干机，分子塔，储氧罐，电气控制柜等。小产量每小时 1 立方米，大产量每小时可达 300立方米。造价高，系统复杂，体积庞大
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