程控扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。
程控扩散炉技术指标
1.1工作温度：200～1300℃
1.2适用硅片尺寸：4～6英寸
1.3装片数量：正片100～300片/管
1.4炉体恒温区：300～1000mm
1.5恒温区精度：＞800℃/±0.5℃ ，＜800℃/±1℃
1.6单点温度稳定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h
1.7Zui大可控升温速度：15℃/min
1.8Zui大降温速度：5℃/min（900～1300℃）
1.9控制模式：仪表控制/触摸屏控制
可选配置：
1.1工艺管数量：1～4管
1.2工作台：有净化/无净化
1.3进出舟模式：手动送片/自动送片（悬臂模式、软着陆模式）
1.4适用工艺：氧化（干氧、湿氧）、扩散（磷扩、硼扩）、合金（氮气、氮氢）、退火等
| 成立日期 | 2010年11月15日 | ||
| 法定代表人 | 刘明利 | ||
| 注册资本 | 600 | ||
| 登记机关 | 即墨市工商行政管理局 | ||
| 主营产品 | 青岛扩散炉 ,扩散炉, 太阳能炉 , 退火炉 ,扩散炉炉体 | ||
| 经营范围 | 研发销售工业自动化控制软件，研发、生产销售：工业自动化控制系统设备及配件、半导体设备及配件（以上范围不含特种设备）；销售计算机及配件、电子产品、仪器仪表；货物进出口，技术进出口（法律、行政法规禁止的项目除外，法律、行政法规限制的项目取得许可后方可）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营... | ||
| 公司简介 | 青岛赛尔微电子有限公司是集科研、开发、制作和服务为一体的高新技术企业，公司与多所高校和研究机构有着密切的合作，并与一些半导体厂达成技术合作关系，主要从事半导体行业和太阳能行业高精度控制系统及设备的设计、制作与服务。公司的技术人员都是有着多年行业经验的精英，对微电子工艺流程有深入了解，对设备运行中可能出现的问题提供有效的预防。目前公司已推出share-100系列、share-2000系列、share ... | ||
